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一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪，涉及一种测试仪。提供一种灵敏度较高、结构简洁、操作方便的可实现对半导体材料少数载流子寿命的无接触无破坏测量的一种半导体材料少子寿命无接触非破坏测试仪。设有微波系统、固体激光器、信号发生器和相移检测电路；所述微波系统设有压控振荡器、衰减器、谐振腔和检波器；所述固体激光器设于所述谐振腔下方；所述相移检测电路设有调制信号检测电路、光电导信号检测电路、矩形波生成电路、脉宽检测电路和微处理器；所述调制信号检测电路和光电导信号检测电路通过信号选择开关分别连接，采用工作于高Q值低损耗模的谐振腔，具有无接触、高灵敏度和易调谐的优点。结构简单、操作方便。
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