数字微镜器件（DMD）是目前很多投影仪的核心部件，可以实现对入射光线的控制。现在很多加工工具、电子元器件等零件的表面形貌测量非常复杂，而对这些复杂表面形貌的精确表征可以对加工结果、电子器件的性能做出准确的仿真和预测，有利于提高加工水平及产品的性能。将DMD用于表面形貌的测量，无需对测量系统硬件做任何改变，仅通过软件编程就可实现高精度、大范围的跨尺度形貌测量，有方便、快速、精确的优点。
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