基于宽带光干涉表面形貌测量方法及其测量仪,采用宽带光干涉装置,将被测物放置在计量型垂直位移工作台上,计量型垂直位移工作台放置在共基面运动X-Y工作台上。测量光照射被测物表面,由被测表面的反射光和参考光产生干涉条纹,利用宽带光干涉原理进行非接触式测量;在物镜下放置平面反射镜,平面反射镜随探针的上下移动而摆动,测量光照射平面反射镜,由平面反射镜的反射光和参考光产生干涉条纹,利用宽带光干涉原理进行接触式测量。本测量方法及其测量仪具有大量程、高分辨率、可接触与非接触测量、速度快、性价比高的特点。本发明可对工程表面的形貌,包括形状、波度、表面粗糙度进行综合测量,可满足工程表面全范围的表面形状测量,同时对于MEMS的几何尺寸、形状、振动等均可实现非接触测量。